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真空定向凝固炉用于:太阳能级硅锭制造,也可以用于其他半导体材料提纯。
1、控制精度高,结晶速度可调;
2、采用石墨电阻或感应加热熔炼法,增加溶液搅拌,熔炼速度快;
3、定向凝固保温采用特制加热电源;具有三相电流平衡,维护费用低;
4、采用恒温度控制仪,可设置148段加热工艺曲线;
5、炉室采用高真空炉体,真空度高,抽气速度快;
真空定向凝固炉
定点浇注炉
多晶硅定向凝固炉
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